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Akribis-Air智能研磨拋光機
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- 更新時間:2018-10-10
產品簡介:
Akribis-Air智能研磨拋光機,具有高度自動化的獨立系統,提供了工藝創新,在短時間內可實現Z高水平的處理。完整的Akribis-air研磨拋光系統具有智能自動化的功能,如盤面平整度控制、夾具自動設置、動態負荷控制、增加控制參數、實時數據收集和反饋、計量磨料供應、自動清洗功能等。
Akribis-air智能研磨拋光機,具有高度自動化的獨立系統,提供了工藝創新,在短時間內可實現zui高水平的處理。
Akribis-Air智能研磨拋光機功能:
- 盤面平整度控制
- 夾具自動設置
- 動態負荷控制
- 增加控制參數
- 實時數據收集和反饋
- 計量磨料供應
- 自動清洗功能
單工作站系統配有400mm的盤,速度為100rpm。當使用LOFITECH的動態負載控制的新智能夾具系統,在廣泛的應用程序中提供快速、可靠和高度準確的結果。LOFITECH的空氣驅動智能夾具可用于100毫米和150毫米晶圓處理。
Akribis-air智能研磨拋光機典型應用:
- 硅集成電路、太陽能和波導
- III-V族化合物稀釋和拋光
- 藍寶石和發光二極管
- 碳化硅光學,發光二極管和電力電子
- 氮化鎵-光學儀器、激光、射頻高頻