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Logitech將推出全新的LP70多工位精密研磨和拋光系統。 該高度自動化系統具有創新的特性和功能,是需要高規格表面光潔度和平整度應用的多晶圓加工的理想解決方案。
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PM6精密研磨拋光系統是生產商英國logitech公司發布的一款適用于科學研究水平的研磨和拋光機型,該機型是PM5型的升級版。能夠完成4英寸及以下尺寸樣品的小批量處理,整個過程全封閉控制,并內置自清洗功能,提升對操作人員的安全保護;全部采用電腦程序控制,可實現數據傳輸、工藝存儲及數據實時監控與反饋等功能。
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Akribis-Air智能研磨拋光機,具有高度自動化的獨立系統,提供了工藝創新,在短時間內可實現Z高水平的處理。完整的Akribis-air研磨拋光系統具有智能自動化的功能,如盤面平整度控制、夾具自動設置、動態負荷控制、增加控制參數、實時數據收集和反饋、計量磨料供應、自動清洗功能等。
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CMP Orbis 柜式化學機械研磨拋光設備,The Orbis CMP system is a precision engineered, floor standing CMP tool ideally suited for R&D environments where the main purpose or application is to conduct pilot production tests with optimum ....
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The Logitech DP high speed polishing systems have been designed for semi automated ?nal stage polishing of hard materials, such as sapphire, silicon carbide or gallium nitride, to epitaxy ready qualit
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The Logitech DL precision lapping systems process materials with high geometric precision. These systems can process up to 4, 200mm/8” Ø samples (or multiple smaller samples) simultaneously.